一、背景

       等離子體光譜溫度檢測是一種重要的等離子體參數(shù)診斷技術，它利用等離子體激發(fā)態(tài)粒子向低能級躍遷時發(fā)射的光譜信息來測量等離子體的溫度。

二、應用概述

       光譜儀通過實時監(jiān)測和分析等離子體的特性，如溫度、密度等參數(shù)，可以優(yōu)化工藝流程，提高產品質量，并在科學研究和工業(yè)生產中發(fā)揮重要作用。

圖1

       實驗過程如下，用WJD型交直流電弧源作為激發(fā)光源，采用交流電弧，電流強度為7A。使用純銅作為激發(fā)電極，電極前端為錐狀臺，電極間距為0.222cm。

       使用海洋光學HR6-UV-VIS型光纖光譜儀收集電弧等離子體光譜，光纖傳感探頭與電極中心間距為27.3cm。如圖3所示，電弧引燃使純銅電極前端部分激發(fā)，形成等離子體光暈。光纖傳感探頭放置于等離子體光暈的等高位置，等離子體光暈的光譜輻射數(shù)據(jù)由光纖探頭收集，并由石英光纖傳輸給光譜儀，利用光譜儀收集光譜數(shù)據(jù)，在計算機上進行光譜數(shù)據(jù)記錄和相應的處理。利用光譜儀以1s為時間單位，記錄了電弧引燃后第1～101秒的光譜數(shù)據(jù)，并對第1～51秒的數(shù)據(jù)進行了相應的計算和處理。

圖2：等離子體發(fā)射光譜

圖3：測試等離子體電子溫度實驗裝置

三、實驗裝置

       典型配置如下：

四、結語

       本實驗通過發(fā)射光譜法來測量電子溫度，在氬氣直流輝光放電等離子體中，通過測量發(fā)射光譜獲得特定Ar線的光譜強度，使用Boltzmann圖表法計算電子溫度。結果表明，電子溫度隨放電電壓和氣壓的增加而升高。